下载半导体器件的接触件及其形成方法的技术资料

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本公开涉及半导体器件的接触件及其形成方法。公开了用于在低压器件和高压器件中形成到源极/漏极区域和栅极电极的接触件的方法以及由该方法形成的器件。在实施例中,一种器件包括:第一沟道区域,在衬底中与第一源极/漏极区域相邻;第一栅极,在第一沟道区域...
该专利属于台湾积体电路制造股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过台湾积体电路制造股份有限公司授权不得商用。

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