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在超高密度沟槽型功率器件设计中实现分阱（Ｓｐｌｉｔ　Ｗｅｌｌ）结构的新型方法，有效地解决了分阱结构２１与超高密度设计之间的矛盾。该方法利用杂质补偿原理，透过接触孔２２进行高能量Ｎ型离子注入１８和快速退火，在阱区７中央的底部形成分阱结构２１。...
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