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半导体电感结构制造技术
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文档序号:32345077
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本发明涉及一种半导体电感结构,包括:互感线圈,包括顶层线圈和底层线圈,顶层线圈与底层线圈位于不同的平面,且两者之间形成互感;中间结构,中间结构位于顶层线圈与底层线圈之间,包括,层间导电层和连通结构,连通结构用于电连接层间导电层与顶层线圈、层...
该专利属于无锡华润上华科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过无锡华润上华科技有限公司授权不得商用。
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