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本发明提供一种不会发生因热的影响导致发光量下降而引起的光能效率低这样的问题，从而能够保持稳定的性能的退火装置。其具有收纳晶片Ｗ的处理室１；面对晶片Ｗ的面而设置的、具有向晶片Ｗ照射光的多个ＬＥＤ３３的加热源１７ａ、１７ｂ；与加热源１７ａ、１７...
该专利属于东京毅力科创株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过东京毅力科创株式会社授权不得商用。

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