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钛膜的成膜方法和钛膜的成膜装置制造方法及图纸
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文档序号:3232117
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本发明提供钛膜的成膜方法和钛膜的成膜装置,通过使钛的硅化物结构一致,能够改善表面形态等。在钛膜的成膜方法中,在能够抽真空的处理容器(14)内供给包含钛的原料气体、还原气体和非活性气体,并且在上述处理容器内产生等离子体,在从表面露出有硅部分(...
该专利属于东京毅力科创株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过东京毅力科创株式会社授权不得商用。
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