下载一种控温的半导体光电特性测试样品架的技术资料

文档序号:3229246

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本实用新型公开了一种控温的半导体光电特性测试样品架,它由样品腔、控温基座和温度传感器组成。样品腔包含腔盖和腔体,腔盖上设有用以穿插光纤或透过光束的穿孔,腔体上设有多个接线柱。控温基座固定在样品腔中并以一块高热导率的热沉为基体,温度传感器插设...
该专利属于中国科学院半导体研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院半导体研究所授权不得商用。

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