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一种用于加工基材的抛光制品，其特征在于所述抛光制品包括：　　　　一个具有适于抛光基材的表面的主体；以及　　　　一个位于所述主体内的导电元件，所述导电元件包括由导电材料涂敷的交织纤维的织物。...
该专利属于应用材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过应用材料有限公司授权不得商用。

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