下载半导体结构的制造方法的技术资料

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提供一种半导体结构及其制造方法。在一实施例中,半导体结构包括:一源极特征部件及一漏极特征部件、设置于源极特征部件与漏极特征部件之间的一通道结构、设置于通道结构及漏极特征部件上的一半导体层、设置于半导体层上的一介电层、设置于源极特征部件上并延...
该专利属于台湾积体电路制造股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过台湾积体电路制造股份有限公司授权不得商用。

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