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本发明公开了一种抛光垫修整装置，包括：连接臂，水平延伸；修整头单元，设于连接臂的一端，用于修整抛光垫；基座单元，设于连接臂的另一端，与连接臂活动连接，用于驱动连接臂带着修整头单元垂直上下移动，以使得修整头单元沿趋于垂直的方向靠近或远离抛光垫...
该专利属于杭州众硅电子科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过杭州众硅电子科技有限公司授权不得商用。

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