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一种平板式电极结构，用于ＰＥＣＶＤ系统，包括：一上极板，带有加热器，基片放置于上极板；一下极板，设有上层孔板、下层孔板，其中所述的上层孔板、下层孔板之间为上层混气室，下层孔板之下为下层混气室；下层混气室下部另设有电极接入端子，电源通过分配器...
该专利属于中国科学院半导体研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院半导体研究所授权不得商用。

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