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本实用新型公开了一种定位装置和晶体生长炉组件,定位装置包括支架、第一定位件和第二定位件,第一定位件设在支架上,且适于与晶体生长炉的炉体可分离定位配合,以使支架与炉体对中,第二定位件设在支架上,且适于与晶体生长炉的导流筒可分离定位配合,以使支...该专利属于徐州晶睿半导体装备科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过徐州晶睿半导体装备科技有限公司授权不得商用。
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本实用新型公开了一种定位装置和晶体生长炉组件,定位装置包括支架、第一定位件和第二定位件,第一定位件设在支架上,且适于与晶体生长炉的炉体可分离定位配合,以使支架与炉体对中,第二定位件设在支架上,且适于与晶体生长炉的导流筒可分离定位配合,以使支...