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中国科学院半导体研究所
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一种固态开关器件制造技术
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下载一种固态开关器件的技术资料
文档序号:3223710
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本发明公开了一种用氧化物超导体作基体的固态开关器件,基体两端镀有金属电极作为开关器件的引接端,在其间的基体上淀积一层半导体膜并镀复金属电极作为控制端。这种器件可在室温下运用,并比现有器件的开关速度和控制灵敏度更加优越,它还兼有制作简单、成本...
该专利属于中国科学院半导体研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院半导体研究所授权不得商用。
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