一种固态开关器件制造技术

本发明专利技术公开了一种用氧化物超导体作基体的固态开关器件，基体两端镀有金属电极作为开关器件的引接端，在其间的基体上淀积一层半导体膜并镀复金属电极作为控制端。这种器件可在室温下运用，并比现有器件的开关速度和控制灵敏度更加优越，它还兼有制作简单、成本低廉的优点。（*该技术在2008年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种在室温下运用的固态开关器件，其特征为，它用氧化物超导体作基体，并以镀有金属电极的基体两端作开关器件的引接端，在两端之间淀积一层半导体膜，并在其上镀复金属膜电极作为控制端。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：徐鸿达，
申请(专利权)人：中国科学院半导体研究所，
类型：发明
国别省市：11[中国|北京]