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文档序号:3223311

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本发明是使P型含氮CZ-Si单晶片经过二个不同的热处理工艺过程生成PN结的技术。让P型含氮CZ-Si单晶片在300-500℃温度下退结的表面位置处,利用各种高温表面瞬时退火技术进行高温表面瞬时退火,使此表面所在区域重新回复原来的P型导电类型...
该专利属于武汉大学所有,仅供学习研究参考,未经过武汉大学授权不得商用。

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