下载具有窄带隙-源区结构的绝缘栅器件及其制造方法的技术资料

文档序号:3222858

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一种半导体器件结构及制造方法,在改善MOSFET、MOSSIT和MISFET等绝缘栅晶体管的漏击穿电压时降低漏电流,改善存储单元如用这些晶体管作开关晶体管的DRAM的保持特性,改善传输门中栅氧化膜的可靠性,具体地,在SOI.IG-器件的源区...
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