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本发明公开一种极紫外光掩模衍射近场计算模型的建立方法、装置及电子设备，涉及微电子技术领域。所述极紫外光掩模衍射近场计算模型的建立方法，包括：获取预设个数的掩模版图对应的衍射矩阵数据库；基于所述掩模版图对应的衍射矩阵数据库对每个所述掩模版图进...
该专利属于中国科学院微电子研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院微电子研究所授权不得商用。

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