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晶片锯割机制造技术
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文档序号:3221027
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一种分割有多个用分割线分开的IC块的晶片的晶片锯割机,它有一可转动及沿分割线移动的分割刀;由两个侧喷嘴,一个中央喷嘴组成的喷射装置,侧喷嘴在分割刀两侧,以一设定角度向分割刀及晶片顶面喷射冲洗液,中央喷嘴在分割刀驱动方向的前方,也以一设定角度...
该专利属于三星电子株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过三星电子株式会社授权不得商用。
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