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一种用于测试半导体器件的装置，其允许在相同的阶段进行包括老化在内的多种测试。该装置采用相同的测试托盘，其每个中分别装有多个器件，在多种测试之间不用将其装入到器件托盘或取下，从而使得装置可以占用更少的空间。由这些装置可构成一个串联系统并在所有...
该专利属于三星电子株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过三星电子株式会社授权不得商用。

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