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通道型电子倍增体及离子检测器制造技术
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下载通道型电子倍增体及离子检测器的技术资料
文档序号:32202826
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本实施方式的CEM及离子检测器具备用于实现比现有技术高灵敏度的离子检测的构造。该通道型电子倍增体至少具备通道主体、输入侧导电层、输出侧导电层、及电极。通道主体含有,输入侧上设置有锥形开口部的通道,在该通道内壁面上形成电阻层及电子放出层。输入...
该专利属于浜松光子学株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过浜松光子学株式会社授权不得商用。
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