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运送基片（７）通过基片处理装置（１１）用的装置，所配的一条底输送带（２）和两条侧输送带（４，６）各自都具有用于垂直容纳基片（７）的凹槽，因此该装置的构造特别简单而灵活。...
该专利属于施蒂格哈马技术股份公司所有，仅供学习研究参考，未经过施蒂格哈马技术股份公司授权不得商用。

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