专利查询
首页
专利评估
登录
注册
当前位置:
首页
>
专利查询
>
长江存储科技有限责任公司
>
一种存储器件的制造方法技术
>技术资料下载
下载一种存储器件的制造方法的技术资料
文档序号:32186887
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本申请提供一种存储器件的制造方法,在台阶结构和介质结构之间构成的凹槽内首先形成预设厚度的第一介质层,第一介质层中形成有填充缝隙,之后在凹槽内填充第二介质层,第二介质层位于所述填充缝隙内,以填充缝隙内的第二介质层为掩蔽,刻蚀部分厚度的第一介质...
该专利属于长江存储科技有限责任公司所有,仅供学习研究参考,未经过长江存储科技有限责任公司授权不得商用。
详细技术文档下载地址
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。