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本发明提供一种硅片中转装置和硅片中转方法。硅片中转装置包括：水槽组件，用于容纳待中转的硅片；传输组件；传感器，传感器用于检测水槽组件是否位于第一区域、第二区域、第三区域和第四区域中的任一处；上料组件，对应第一区域设置，配置为在传感器检测到水...
该专利属于西安奕斯伟硅片技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过西安奕斯伟硅片技术有限公司授权不得商用。

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