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晶片保持架制造技术
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文档序号:3217496
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在保持架本体(23)的上面载置晶片(22),保持架本体插入到形成于热处理炉内的多个保持架用凹槽(14),水平地得到保持。保持架本体形成为没有切口的圆板状,在保持架本体形成以该保持架本体的轴线为中心沿周向延伸并朝上方凸出的环状凸起(24)。晶...
该专利属于三菱住友硅晶株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过三菱住友硅晶株式会社授权不得商用。
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