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具有浮置栅的内存组件的制造方法技术
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下载具有浮置栅的内存组件的制造方法的技术资料
文档序号:3217339
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一种具有浮置栅的内存组件的制造方法,提供一个基底,并对基底进行一信道掺杂步骤,以使预定形成的内存组件的实际起始电压值大于预定形成的内存组件的预定起始电压值。接着,依序在基底上形成堆栈栅以及源/漏极区以完成内存组件的制作。通过实际起始电压值的...
该专利属于旺宏电子股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过旺宏电子股份有限公司授权不得商用。
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