下载一种集成电路生产用全自动对准机台的技术资料

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本实用新型公开了一种集成电路生产用全自动对准机台,包括机架,所述机架的顶部中心处安装有X轴运动机构,所述X轴运动机构上安装有加工台,所述加工台的一侧中心处安装有定位架,所述定位架的底部安装有限位块,所述机架上位于X轴运动机构的一侧开设有滑槽...
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