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本发明公开了多芯片检测系统，包括芯片换盘设备和芯片测试设备；所述芯片换盘设备包括换盘料盘运输轨道和换盘模组；所述换盘料盘运输轨道包括换盘轨道主架、料盘运输装置和料盘定位装置；所述换盘模组包括换盘运动架和换盘抓手；所述芯片测试设备包括测试料盘...
该专利属于深圳格芯集成电路装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳格芯集成电路装备有限公司授权不得商用。

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