下载一种芯片移动方法及装置的技术资料

文档序号:32161572

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本申请涉及一种芯片移动方法及装置,所述方法包括:移动所述气体操作头且使所述操作工作面对准待转移芯片;控制所述至少一个气口的位置与对应待转移芯片的相对准;控制气压装置抽取所述气体操作头的腔体结构内的气体,以使所述至少一个气口吸附对应的所述待转...
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