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在一示例性实施方案中，双向转位装置包括多个双向转位头，多个双向转位头可以彼此独立地操作或协同操作以调节衬底处理室中的衬底和基座之间的间隙。在一些实施方案中，一种双向转位头包括：基部；能相对于所述基部旋转的可旋转板，所述可旋转板包括多个异形凹...
该专利属于朗姆研究公司所有，仅供学习研究参考，未经过朗姆研究公司授权不得商用。

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