温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

公开了一种确定与使用成像系统测量的样品相关的复值场的方法。该方法包括获得与在该成像系统的图像平面处成像的该样品的一系列图像相关的图像数据，并且针对该图像数据，在该成像系统的傅立叶平面中施加至少两个不同的调制函数；以及基于所施加的调制函数从成...
该专利属于ASML荷兰有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过ASML荷兰有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。