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文档序号:3215163
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提供一种在各晶面方位上形成的MOSFET都具有良好特性的半导体装置。为此,其构成为,例如,在晶面方位为(100)的硅衬底(11)上,在N型阱区13a的表面上露出(100)以外的晶面方位。只在包含上述(100)晶面方位上的沟道形成区的区域上形...
该专利属于株式会社东芝所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社东芝授权不得商用。
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