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目的在于在传输路径上以单位时间高效地从基片上去除处理液。当基片（Ｇ）偏离规定位置时，停止旋转传输滚轴（１３８），使基片（Ｇ）静止。之后，操作驱动部（１８８）使升降轴（１８６）上升。此时，（基板）１８２和起模顶杆（１８４）也上升，起模顶杆（１...
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