下载在阻挡膜上形成钨膜的方法的技术资料

文档序号:3214943

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一种金属膜形成方法,包括:步骤(a)(s13,s15)向基底阻挡膜(3)依次输送多种原料气体,其中至少一种气体包括金属;和(b)(s14,s16)在输送步骤(a)的原料气体之后,分别对步骤(a)的原料气体进行抽真空-排放或用其它种类气体替换...
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