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在阻挡膜上形成钨膜的方法技术
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下载在阻挡膜上形成钨膜的方法的技术资料
文档序号:3214943
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一种金属膜形成方法,包括:步骤(a)(s13,s15)向基底阻挡膜(3)依次输送多种原料气体,其中至少一种气体包括金属;和(b)(s14,s16)在输送步骤(a)的原料气体之后,分别对步骤(a)的原料气体进行抽真空-排放或用其它种类气体替换...
该专利属于东京毅力科创株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过东京毅力科创株式会社授权不得商用。
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