下载集成电路的内建电感及利用深沟渠阻断寄生电流的结构的技术资料

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一种在集成电路内利用内建电感元件阻断寄生电流的元件结构,将侧面形成如栅状结构的相互平行的深沟渠电容元件。利用此深沟渠储存电荷,可以阻断基底产生的寄生损失电流。集成电路内有主动元件区,配置复数个主动元件,以场氧化层做隔离。电感在沟渠的正上方,...
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