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在半导体制造系统中，控制多个处理装置的操作以高效地制造半导体器件。该半导体制造系统包含一个存储器部分和一个控制部分。存储器部分（５）存储优先级别数据，其以单独的半导体衬底为基础，标明将要对每一个半导体衬底进行的处理的优先级别。控制部分（３，...
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