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器件检测装置基于单独的器件检测多个半导体器件。检测目标分类部分（８）根据指出有缺陷的器件的信息省略应用于半导体器件的检测的执行，该有缺陷的器件在已经应用到器件的制造过程中已被判定为有缺陷。...
该专利属于东京毅力科创株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过东京毅力科创株式会社授权不得商用。

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