下载三维存储器及其制作方法、存储系统及电子设备的技术资料

文档序号:32128139

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本发明实施例涉及一种三维存储器及其制作方法、存储系统及电子设备,该三维存储器的制作方法包括:在衬底上形成堆叠结构,衬底包括多个块区域以及位于相邻块区域之间的栅线缝隙区;形成位于块区域和栅线缝隙区上且贯穿堆叠结构的多个沟道孔;在栅线缝隙区上形...
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