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形成具有低应力无侵蚀区的浅沟渠隔离侧壁氧化层的方法技术
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下载形成具有低应力无侵蚀区的浅沟渠隔离侧壁氧化层的方法的技术资料
文档序号:3212177
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本发明揭示一种形成具有低应力无侵蚀区的浅沟渠隔离侧壁氧化层的方法。本发明利用氧与氢氧根进行一原位蒸汽发生制程以在浅沟渠隔离中形成一侧壁氧化层。以本发明的方法形成的侧壁氧化层具有低应力、不会有侵蚀区的现象且反应时间也远比传统热氧化制程短。...
该专利属于旺宏电子股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过旺宏电子股份有限公司授权不得商用。
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