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掩膜式只读存储器的制造方法技术
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文档序号:3211548
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一种掩膜式只读存储器的制造方法,此方法提供一基底,再于基底上形成掺杂导体层。接着,图案化此掺杂导体层以形成多个条状掺杂导体层,再以热氧化法于基底与条状掺杂导体层上形成介电层,并同时于条状掺杂导体层下方的基底中形成多个扩散区。然后,于介电层上...
该专利属于旺宏电子股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过旺宏电子股份有限公司授权不得商用。
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