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本发明提出一种晶圆检测方法及检测装置，包括：形成晶圆测试图形。根据晶圆测试图形的设计规则，形成测试光罩。根据测试光罩形成测试模板，以模拟待测晶圆图形。根据测试模板，以筛选待测晶圆图形中的有效图形。选择有效图形中的有效数据，以建立光学临近效应...
该专利属于晶芯成（北京）科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过晶芯成（北京）科技有限公司授权不得商用。

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