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一种形成具有缩小间距的晶体管的方法，其特征在于，包括： 提供一基底，该基底上已形成有一第一导电层、一终止层以及一第二导电层； 在该第二导电层上形成一图案化的光阻层； 在该光阻层的表面上形成一第一介电层； 利用该第一介...
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