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一种基板处理装置，其特征在于具有：含有至少１个在相向的侧面上具有第１开口部和第２开口部的第１收容容器的第１收容容器部；收容前述第１收容容器部且在相向的侧面上具有第３开口部和第４开口部的第２收容容器；将基板从前述第３开口部送入前述第２收容容器...
该专利属于大日本屏影象制造株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过大日本屏影象制造株式会社授权不得商用。

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