下载接触窗的制造方法的技术资料

文档序号:3211021

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一种接触窗的制造方法,是在一基底上先形成一层介电层,再于介电层上形成一层覆盖层,此一覆盖层为低介电常数、斥水、含碳的材质,且其介电常数低于介电层的介电常数。然后,图案化覆盖层与介电层,以形成一接触窗开口。接着,于基底上沉积一层导体层,以填满...
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