下载加速度传感器及其制造方法和包含该传感器的检测装置的技术资料

文档序号:3210864

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一种电容式力学量传感器,包括: 一个半导体基板(1); 一个配重(11),其被半导体基板(1)可移动地支撑着; 一个第一可移动电极(10a),其与配重(11)形成为一体;以及 两个第一固定电极(15a),它们被半导体...
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