加速度传感器及其制造方法和包含该传感器的检测装置制造方法及图纸

一种电容式力学量传感器，包括： 一个半导体基板（１）； 一个配重（１１），其被半导体基板（１）可移动地支撑着； 一个第一可移动电极（１０ａ），其与配重（１１）形成为一体；以及 两个第一固定电极（１５ａ），它们被半导体基板（１）静止地支撑着，其中所述第一固定电极（１５ａ）面对着所述第一可移动电极（１０ａ），以提供出第一窄缝隙和第一宽缝隙，从而形成具有第一电容量（ＣＳ１）的第一检测部分（１９），作为对所要检测的力学量的响应，配重（１１）和第一可移动电极（１０ａ）相对于第一固定电极（１５ａ）移位，从而一个缝隙增大，另一缝隙减小，所述力学量基于第一电容量（ＣＳ１）的变化而被检测出来，并且限定出第一宽缝隙的宽缝隙电极表面之一比限定出第一窄缝隙的窄缝隙电极表面小，以提高传感器灵敏度。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种电容式力学量传感器、一种制造电容式力学量传感器的方法以及一种包含电容式力学量传感器的检测装置。当检测加速度时，在用于可移动电极10a、10b的可移动电极垫14和用于固定电极15a、15b的固定电极垫17a、17b之间施加预定电压。在该电压作用下，第一和第二电容量CS1和CS2分别形成在第一可移动电极10a与第一固定电极15a之间和第二可移动电极10b与第二固定电极15b之间。当没有加速度作用时，CS1和CS2可用下面公式1表示。CS1＝CS2＝ε×n×L×h1×(1/d1+1/d2)(公式1)此处，ε是介电常数，n是每组可移动电极的数目，L是有效电极长度，其是可移动和固定电极面对表面的长度，h1是电极高度，其是可移动和固定电极面对表面的高度，d1和d2分别是电极之间的窄缝隙尺寸和电极之间的宽缝隙尺寸。在图7A所示的加速度传感器中，每个电极的有效电极长度L和电极高度h1均相同。当传感器被加速时，弹簧12会发生变形以改变尺寸d1和d2或可移动电极10a、10b与固定电极15a、15b之间的距离d1和d2。然而，宽缝隙的尺寸d2比窄缝隙的尺寸d1大得多，因此第一和第本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种电容式力学量传感器，包括一个半导体基板(1)；一个配重(11)，其被半导体基板(1)可移动地支撑着；一个第一可移动电极(10a)，其与配重(11)形成为一体；以及两个第一固定电极(15a)，它们被半导体基板(1)静止地支撑着，其中所述第一固定电极(15a)面对着所述第一可移动电极(10a)，以提供出第一窄缝隙和第一宽缝隙，从而形成具有第一电容量(CS1)的第一检测部分(19)，作为对所要检测的力学量的响应，配重(11)和第一可移动电极(10a)相对于第一固定电极(15a)移位，从而一个缝隙增大，另一缝隙减小，所述力学量基于第一电容量(CS1)的变化而被检测出来，并且限定出第一宽缝隙的宽缝隙电极表面之一比限定出第一窄缝隙的窄缝隙电极表面小，以提高传感器灵敏度。2.如权利要求1所述的传感器，其特征在于宽缝隙电极表面之一的电极高度(h2)小于窄缝隙电极表面的电极高度(h1)。3.如权利要求1或2所述的传感器，还包括一个第二可移动电极(10b)，其与配重(11)形成为一体；以及两个第二固定电极(15b)，它们被半导体基板(1)静止地支撑着，其中所述第二固定电极(15b)面对着所述第二可移动电极(10b)，以提供出第二窄缝隙和第二宽缝隙，从而形成具有第二电容量(CS2)的第二检测部分(20)，作为对所要检测的力学量的响应，配重(11)和第二可移动电极(10b)相对于第二固定电极(15b)移位，从而第二窄缝隙和第二宽缝隙中的一个缝隙增大，另一个缝隙减小，所述力学量基于第一电容量(CS1)的变化和第二电容量(CS2)的变化而被检测出来。4.一种包含电容式力学量传感器的检测装置，其中传感器包括一个半导体基板(1)；一个配重(11)，其被半导体基板(1)可移动地支撑着；一个第一可移动电极(10a)，其与配重(11)形成为一体；以及两个第一固定电极(15a)，它们被半导体基板(1)静止地支撑着，其中所述第一固定电极(15a)面对着所述第一可移动电极(10a)，以提供出第一窄缝隙和第一宽缝隙，从而形成具有第一电容量(CS1)的第一检测部分(19)，作为对所要检测的...

【专利技术属性】
技术研发人员：五藤敬介，
申请(专利权)人：株式会社电装，
类型：发明
国别省市：