下载氮化物只读存储器存储单元的制造方法的技术资料

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一种氮化物只读存储器存储单元的制造方法,其中,氮化物只读存储器元件包含阵列区和周边区。首先,提供衬底,并在衬底上形成氧化层;接着,在氧化层的上方形成周边区的多晶硅层;然后,形成图案化的周边多晶硅;接下来,在阵列区和周边区的衬底上方形成ONO...
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