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氮化物只读存储器存储单元的制造方法技术
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文档序号:3210847
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一种氮化物只读存储器存储单元的制造方法,其中,氮化物只读存储器元件包含阵列区和周边区。首先,提供衬底,并在衬底上形成氧化层;接着,在氧化层的上方形成周边区的多晶硅层;然后,形成图案化的周边多晶硅;接下来,在阵列区和周边区的衬底上方形成ONO...
该专利属于旺宏电子股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过旺宏电子股份有限公司授权不得商用。
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