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一种在半导体制程中探测化学溶剂泄漏的装置，包括： 一控制盒，用以接收至少一输入信号，该控制盒包括一前面板以及一电路板，该电路板用以接收至少一输入信号并触发一报警信号，该前面板包括一第一指示器，用以提供该报警信号，表示化学溶剂泄漏； ...
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