下载半导体器件及其制造方法的技术资料

文档序号:3210434

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

一种半导体器件,包括: 基板; 第一绝缘膜,提供在基板上并具有最多为预定值的相对介电常数; 第二绝缘膜,提供在第一绝缘膜的表面上并具有大于预定值的相对介电常数; 布线,提供在用于布线的凹槽中,穿过第二绝缘膜形成并延伸...
该专利属于株式会社东芝所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社东芝授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。