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用于确定辐射斑的中心的方法、传感器和平台设备技术
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下载用于确定辐射斑的中心的方法、传感器和平台设备的技术资料
文档序号:32101655
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一种用于确定由传感器辐照在表面上的辐射斑的中心的方法,所述传感器包括辐射源和检测器。所述方法包括以下步骤:利用辐射源将第一发射辐射束发射到所述表面上以在所述表面上形成所述辐射斑,其中布置在所述表面处的目标的至少一部分由所述辐射斑辐照;利用所...
该专利属于ASML荷兰有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过ASML荷兰有限公司授权不得商用。
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