下载等离子体处理装置及等离子体处理方法的技术资料

文档序号:3209919

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向处理容器内供给电磁场的辐射天线(30)的缝隙(36)被配置在间隔d等于在辐射天线(30)内的电磁场的波长λg的大约N倍(N是自然数)的螺旋线上。从该辐射天线的中心部分以旋转方式供给电磁场。...
该专利属于东京毅力科创株式会社;安藤真;高桥応明;八坂保能所有,仅供学习研究参考,未经过东京毅力科创株式会社;安藤真;高桥応明;八坂保能授权不得商用。

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