下载具有垂直于晶片台的光罩台的反射折射光刻系统及方法的技术资料

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一种光刻装置,包括:    透射或反射影像的光罩台;    晶片台;以及    反射折射曝光光学装置组件,在所述光罩台与所述晶片台之间取向,按全等方式将所述影像投射于所述晶片台上。...
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